真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長,同時在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下,我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。
隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,真空泵的種類已發(fā)展了很多種,根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。
隨著真空技術(shù)在應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求,處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示“差”的意思。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。